微电子工程是一门 研究半导体器件和集成电路的设计、制造、测试以及相关技术应用的学科。它是在物理学、电子学、材料科学、计算机科学、集成电路设计制造等多学科和超净、超纯、超精细加工技术基础上发展起来的一门新兴学科。
微电子工程的主要研究内容包括:
半导体器件物理:
研究半导体的基本性质和器件的工作原理。
功能电子材料:
研究和开发用于半导体器件的材料,如半导体晶体、薄膜等。
固体电子器件:
设计和制造各种固体电子器件,如二极管、晶体管等。
超大规模集成电路(ULSI)的设计与制造技术:
研究如何设计和制造集成度极高的集成电路。
微机械电子系统:
研究将微小的机械结构与电子器件集成在一起的技术。
计算机辅助设计制造技术:
利用计算机技术进行电子器件和系统的设计和制造。
微电子工程的应用非常广泛,涵盖了计算机、通讯、消费电子、医疗电子、军事电子等多个领域。随着技术的不断进步,微电子工程将继续推动电子产品的微型化、高性能化和低功耗化。