微系统工程是一门涉及多个学科领域的交叉学科,它以微机械为基础,融合了微电子、微光子、MEMS(微机电系统)、架构和算法等五大基础要素。微系统工程采用系统设计的思想和方法,将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元通过微纳制造及工艺集成在一起的多功能微装置。
微系统工程的研究领域包括但不限于:
微传感器
微加速度计
微陀螺和微惯导系统
微光学器件
微测量技术
微系统工程的主要课程包括:
微机电工程材料
微机电器件与系统
微机械学
微纳米测量与测试技术
微细加工技术
现代传感技术
精密工程制造基础和光存储技术等
毕业生可以在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作