光刻设备工程师主要负责以下工作:
光刻设备的安装和调试
负责光刻机及相关设备的安装、调试、验收及异常情况的处理。
设备维护和管理
定义机台相关标准操作程序(SOP)。
管理设备的零件维护和后续维修,以降低成本。
工艺开发和优化
参与光刻工艺的开发和固化,包括光刻胶的选择和涂布、曝光、显影等。
对现有工艺进行优化,实现工艺窗口最大化、能耗最低化、操作简单化。
异常处理和分析
调试机台参数以满足研发需求。
分析并处理光刻过程中出现的异常情况。
数据监控和分析
日常监控数据进行SPC分析,确保工艺稳定性和产品良率。
文档编制和培训
编制和修订光刻相关文件。
对技术员和操作员进行培训,确保其具备相应的能力。
项目支持和协作
参与研发项目进度跟踪和现场技术支持工作。
配合研发团队制定新产品开发计划。
配合市场部开发新产品的市场支持。
其他任务
完成领导交办的其他任务。
建议
持续学习:光刻技术不断进步,工程师需要不断学习新技术和新设备,以保持竞争力。
团队协作:与工艺工程师、设备工程师等其他团队成员紧密合作,确保生产流程的顺畅。
问题解决:培养快速分析和解决复杂问题的能力,以应对生产中的突发情况。