MEMS技术，全称Micro-Electro-Mechanical Systems，即微机电系统，是一种将微电子技术与机械工程相结合的技术。
它允许制造尺寸在微米甚至纳米级别的微型化、集成化、智能化的机电系统。这些系统通常由硅等半导体材料制成，并集成了微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路等组件。MEMS技术的工作原理是利用微纳加工技术，在硅芯片上制造微小机械结构，这些结构能够感知外界环境的物理、化学或生物参数，并通过微型电子元件进行信号处理和控制。MEMS技术具有广泛的应用领域，包括航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事等，并且随着技术的发展，其应用正在不断扩展至新的领域。MEMS技术因其微型化、集成化、智能化等特点，在提高产品性能、降低生产成本等方面具有显著优势，对21世纪的科技进步和产业发展具有重大影响
